高純水的參數及應用范圍
高純水的參數及應用范圍:高純水(High purity water)是指25℃時電導率小于0.1 μs/cm和殘余含鹽量小于0.3 mg/L,并去除了非電介質的微量**、微生物、微粒等雜質的水。制取方法有蒸餾、RO膜分離、離子交換等。主要用于電子和微電子工業,也用于食品、造紙、醫藥、電子、核工業等行業。
水的純度通常是以水中所含雜質的相對含量來表示的。但當水的純度達一定水平后,水中的雜質總量已很少了,個別雜質的濃度更低,有些已不易檢出。在這種情況下,常用水的電導率(或電阻率)來表示水的純度。因為純水中H+和OH-離子的濃度都是10-7 mol/L,其電導率很低,幾乎不導電。而當水中含有某些雜質(如可溶性鹽)時,由于雜質離子能導電,使其電導率迅速上升。因此水的電導率是與其純度密切相關的。
泉特QTCJ高純水制取工藝:源水→機械過濾→活性炭過濾器→軟水器→二級反滲透器→純水箱→EDI精除鹽→離子交換柱→高純水箱→供水泵→紫外燈**器→精密過濾器→用水點
高純水的制備流程由預處理、脫鹽和后處理三部分組成,根據用水的要求,選擇合適的工藝組合。
(1)預處理。主要是除去懸浮物、有機物,常用的方法有砂濾、膜過濾、活性炭吸附等。
(2)脫鹽。主要是除去各種鹽類,常用的方法有電滲析、反滲透、離子交換等。
(3)后處理。主要是除去**、微顆粒,常用的方法有紫外**、臭氧**、超過濾、微孔過濾等。
我國高純水的國家標準將電子級水分為五個級別,相應標準為EW-I、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-IV、EW-V,其中EW-I為***,它所要求的雜質控制指標如下:電阻率在90%時間內達到18 MQ·cm(25℃),其余時間*小值為17 MQ·cm(25℃),大于0.5 μm的微粒數少于100個/mL,**個數*大值1個/mL,總有機碳含量不大于50 μg/L,二氧化硅總含量不大于2 μg/L,氯、鉀、鋁、鐵、鈣的含量均不大于0.5 μg/L,而銅、鋅含量不大于0.2 μg/L。
泉特高純水主要應用在電子和微電子工業上,也用于食品、造紙、醫藥等行業。隨著半導體器件由過去的單電路發展到集成電路,對水質的要求就越來越高。在半導體切片和研磨過程中,須用高純水進行清洗,即使只有微粒塵埃雜質,也會影響產品質量。